自動AI微晶圓檢測

自動AI微晶圓檢測

顯微鏡集成Cognex InSight ViDi D905 AI視覺係統

高精度X/Y電動工作台，負責在顯微鏡下移動晶圓，實現全視場覆蓋掃描。

Cognex ViDi AI軟件平台。它利用預先訓練的深度學習模型（針對劃痕

、顆粒、殘留物
、裂紋等缺陷）對采集的高分辨率圖像進行實時分析
、分類和定位缺陷。

能夠學習複雜的缺陷特征
，對弱對比度缺陷和新型缺陷具有極高的檢出率和較低的誤報率
，尤其適用於微米/納米級缺陷檢測。

手動裝載係統，配備自定心晶圓裝載台，計劃采用全自動係統

係統能夠生成標準的KLARF文件
，該文件包含了所有缺陷的坐標
、尺寸、類型、圖像快照等信息，可直接導入管理係統或發送給客戶。

缺陷尺寸取決於：

顯微鏡物鏡的放大倍數和分辨率。

Cognex D905相機的傳感器像素尺寸和視野。

照明係統（如明場、暗場）的能力。