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自動AI晶圓邊緣檢測
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自動AI晶圓批量邊緣檢測
是一款專為150/200mm晶圓設計的自動AI邊緣檢測設備。它配備Cognex AI相機,能在1分鍾內完成批量晶圓的全邊緣與禁區檢查,準確識別大於1.2mm的缺陷,並通過SECS/GEM實時提供分片結果,明顯提升檢測效率與可靠性。
產品詳情

自動AI晶圓邊緣檢測

批量邊緣檢查

安裝在批次ID閱讀器周圍的Cognex InSight ViDi D905相機

真正的邊緣檢查,可選正麵和背麵禁區檢查

前後攝像頭可配置為在誤處理後檢測“CMP環”

1分鍾完成邊緣檢查周期

按插槽號劃分的通過/失敗結果——SECS/GEM連接

缺陷尺寸>1.2mm

Model

Wafer Size

Description

IDWR-EDGE

150/ 200 mm

Batch Edge Inspection


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是一款專為150/200mm晶圓設計的自動AI邊緣檢測設備。它配備Cognex AI相機,能在1分鍾內完成批量晶圓的全邊緣與禁區檢查,準確識別大於1.2mm的缺陷,並通過SECS/GEM實時提供分片結果,明顯提升檢測效率與可靠性。
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自動AI晶圓邊緣檢測

批量邊緣檢查

安裝在批次ID閱讀器周圍的Cognex InSight ViDi D905相機

真正的邊緣檢查,可選正麵和背麵禁區檢查

前後攝像頭可配置為在誤處理後檢測“CMP環”

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