帶快速進樣室的獨立 MBE 係統

本底真空優於2x10-10mbar

4 軸操縱器
，可直接連接電子光束加熱至 1200 °C 和 液氮LN2冷卻

Load-Lock進樣室與線性傳輸杆
，使樣品夾具傳輸方便。更多可存儲6個樣品夾具。

沉積室包含用於 RHEED 槍、離子槍
、光束通量監視器
、石英晶體天平等的端口。

可更換底部法蘭，帶專用起重推車

沉積室中可防止交叉汙染

樣品沉積室配備了用於分析儀器等的其他端口。

根據蒸發源的類型和數量以及基板大小

，可提供不同的標準襯底尺寸：直徑300mm、直徑450mm 和 直徑570mm（根據要求的其他尺寸）。