多功能鍍膜係統

多功能鍍膜係統

這zhe款kuan來lai自zi美mei國guo的de多duo功gong能neng鍍du膜mo係xi統tong滿man足zu研yan究jiu所suo和he研yan發fa部bu門men對dui真zhen空kong薄bo膜mo沉chen積ji的de性xing能neng要yao求qiu，占zhan用yong空kong間jian小xiao
，具ju有you超chao高gao的de性xing價jia比bi
，可ke以yi向xiang客ke戶hu提ti供gong更geng質zhi優you的de服fu務wu。

特點

小容量，快速重複工作流程
；

活性沉積區域更大為200nm（8英寸）直徑；

適應多種襯底；

可配備多個濺射源（更多至4個）；

連續沉積模式或聯合沉積模式；

不同工作氣體控製
；

共焦陰極分布；

50mm,75mm, 或100mm磁控濺射源
；

內置陰極角傾斜
；

陰極擋板；

直流,脈衝
，高頻（HG或MF）電源；

襯底
，加熱，冷卻，或者RF/DC偏壓；

可添加預抽室。