TPD係統

程序溫度脫附控製係統 （TPD）

用於測量超薄薄膜吸附/脫吸的獨立係統，能夠在較寬溫範圍內進行高精度溫度控製。

本底真空1×10-9 mbar 的 TPD/TDS 腔室（可用於其他組件的備用端口）

配備四極杆TDS 40A1熱脫附質譜儀（質量範圍更大到200 AMU），Z軸移動以實現更佳探測器定位

特別設計的圓錐形采樣端件

1 軸超高真空操縱器，在寬溫範圍內具有高精度溫度控製（-170°C 至 1200 °C）

TDS專用 計算機控製的數據采集和處理軟件

樣品傳輸腔配置兩個 PTS 樣品夾具

從樣品傳輸腔到 TPD 室配置可靠和快速的線性傳輸係統

19" 支撐櫃


，安裝所有的電子部件

具有大輪子的可調節剛性大型機，便於係統放置

升級選項

操縱器的其他運動軸
，並完全機動化

通過精確控製壓力
，將壓力範圍從超高真空擴展到 1 atm 的可能性

氣體注入係統（手動或精確與 PLC 控製）

溶劑注入係統

致力於在腐蝕性環境中工作的樣品夾具

樣品傳輸腔室具有加熱和 液氮LN2冷卻選項

用於樣品準備的專用室

不同質量範圍的殘餘氣體分析質譜儀