俄歇電子能量譜組件

俄歇電子能譜組件(AES、Auger)是一種利用高能電子束為激發源的表麵分析技術. AES分析區域受激原子發射出具有元素特征的俄歇電子。俄歇電子在固體中運行也同樣要經曆頻繁的非彈性散射
，能逸出固體表麵的

隻是表麵幾層原子所產生的俄歇電子
，這些電子的能量大體上處於 10～500電子伏，它們的平均自由程很短
，大約為5～20埃,因此俄歇電子能譜所考察的隻是固體的表麵層。俄歇電子能譜通常用電子束作輻射源
，電

子束可以聚焦
、掃(sao)描(miao)，因(yin)此(ci)俄(e)歇(xie)電(dian)子(zi)能(neng)譜(pu)可(ke)以(yi)作(zuo)表(biao)麵(mian)微(wei)區(qu)分(fen)析(xi)

，並(bing)且(qie)可(ke)以(yi)從(cong)熒(ying)光(guang)屏(ping)上(shang)直(zhi)接(jie)獲(huo)得(de)俄(e)歇(xie)元(yuan)素(su)像(xiang)。是(shi)考(kao)察(cha)固(gu)體(ti)表(biao)麵(mian)的(de)強(qiang)有(you)力(li)工(gong)具(ju)，用(yong)於(yu)各(ge)種(zhong)材(cai)料(liao)分(fen)析(xi)以(yi)及(ji)催(cui)化(hua)、吸附、腐蝕
、磨損等方麵的研究。

我司的microCMA 操作簡單
，易於維護
，提供完整的定量表麵敏感元素俄歇電子 （AES） 分析儀套件，可安裝在 2.75" / 70 mm CF 法蘭上，光學元件末端到采樣距離為4 mm。由於microCMA非常小，因此同軸內置

電子槍被限製在3 kV。對於元素分析，microCMA比單獨的XPS係統便宜得多。 完整的AES係統包括圓柱形鏡麵分析儀（帶有集成的同軸電子槍）
，USB接口控製器以及Windows采集和數據按摩軟件。讓俄歇分析變

得簡單！ 

microCMA是一款俄歇光譜圓柱鏡分析儀，專為許多不需要AES映射功能的俄歇分析應用而設計，這些應用包括分析：

• 薄膜元素組合物

• 樣品清潔度

• 金屬成分熱氧化物

• 輕元素表麵膜的量化

特征：

緊湊的結構：適用於 2.75" / 70 mm CF 法蘭（1.52" / 38.6 mm 內徑管）。 現在可以隻用一個T型離子泵構建一個俄歇光譜係統！

久經考驗的設計：柱麵鏡分析器的二階聚焦提供了良好的傳遞效果和優異分辨率。

易於使用：USB控製和俄歇數據信息分析軟件界麵易於使用，使俄歇分析變得容易。

強力功能：俄歇光譜（AES）是一種可為您提供樣品表麵數層的定量信息的強力表麵靈敏技術。

優勢：

microCMA的小直徑使其適合現有的沉積或分析室。

由於microCMA基於經典的圓柱形鏡麵分析儀設計，因此與較大的CMA相比
，它具有相似的信噪比。基本上
，microCMA收集的電子與較大的CMA相同;它隻是收集更接近樣品的電子。

集成的 3 kV 電子槍簡化了 CMA 到樣品的對準。

電子槍具有自動功能，例如熱身和調節。

microCMA非常適合薄膜的元素表麵分析和檢查樣品的清潔度。

CMapp Auger 軟件提供對采集參數的完全控製，然後量化采集後的數據。

應用參考：

室溫和100℃環境下利用連續表麵反應進行結晶氮化镓薄膜的電子增強生長 - Sprenger
，Sun，Cavanagh
，Roshko，Blanchard，George，材料化學
，U. Colorado – 2016

抑製二次電子噪聲的微型柱麵鏡俄歇電子能量分析儀的設計與仿真 - Jay A. Bieber，南佛羅裏達大學 – 2017

在室溫和100°C下氮化硼薄膜的電子增強原子層沉積 - Sprenger，Sun，Cavanagh，Roshko，Blanchard，George - J Phys Chem C納米材料界麵。科羅拉多州 – 2018

在W（100）上Ba-Sc-O脫附的實驗中俄歇電子能譜與微同步輻射x射線光電子能譜的關聯性研究 -孟彩霞，李一凡，吳浩，魏偉，寧豔曉，崔毅，傅強

，寶鑫和 - 物理化學 化學 化學 物理 – 2018

利用AIMS診斷功能用於托卡馬克磁約束聚變環流器內部的高Z位置的侵蝕測量的一種離子束原位分析方法的開發和測試 - Leigh A. Kesler
，麻省理工學院 – 2019

Pt（111)表麵的h-BN在氧氛環境內的結構轉變- Mroz，Kordesch
，Sadowski
，Tenney
，Eads - 真空科學與技術雜誌，B.Brookhaven國家實驗室 – 2020

SO2在石墨烯上的吸附和反應動力學：超高真空表麵科學研究- Stach，Johnson
，Stevens
，Burghaus - 真空科學與技術雜誌，北達科他州 – 2021

電子增強原子層低溫沉積鈷膜的空心陰極等離子體電子源 - Sobell1，Cavanagh1，Boris，Walton，George - 真空科學與技術雜誌
，U. Colorado

，海軍研究實驗室 - 2021

microCMA 是一個高度集成、即插即用的AES解決方案，適合需要快速、定量表麵元素分析的用戶。其小巧的設計使其能夠靈活集成到現有真空係統中，降低了AES技術的使用門檻，同時保持了傳統CMA的檢測性能，

在學術研究與工業質檢中均有實用價值。