MDA-400M光刻機

光刻機又名：掩模對準曝光機，曝光係統，光刻係統，光刻機，紫外曝光機等；

MIDAS為全球前沿的半導體設備供應商，多年來致力於掩模對準光刻機和勻膠機研發與生產
，並且普遍應用於半導體
、微電子
、生物器件和納米科技領域；該公司是目前世界上更早將光刻機商品化的公司之一，擁有雄厚

的技術研發力量和設備生產能力
；並且其設備被眾多有名企業、研發中心
、研究所和高校所采用
；以優異的技術
、精湛的工藝和良好的服務，贏得了用戶的青睞。

產地：韓國MIDAS公司
，能做到圖形化藍寶石襯底（PSS）光刻機，高性價比

型號：MDA-400M

廠家鏈接：http://www.midas-china.com.cn/

MDA-400M

易於操作和安裝，處理各種尺寸的基板，帶觸摸屏麵板的PLC控製

•全手動類型

•掩模版尺寸達5英寸

•基板尺寸為4英寸圓形

•均勻光束尺寸4.25*4.25英寸

•光源：紫外線燈
，350 W

•光束波長350~450 nm

•光束均勻性<±3%<>

•365 nm強度 ~25 mW/㎠

•手動對準

•對準精度1 um

•操作模式：軟
、硬

、真空接觸和接近

•工藝分辨率 1 um@1 um PR厚度，帶真空觸點

•尺寸（mm）1080（寬）*1060（深）*1580（高）