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六角形分揀機/EFEM150/200mm自動化平台
瀏覽器自帶分享功能也很好用哦~這是一模塊化、高性能的自動化晶圓處理平台，專為執行多條件、高速晶圓分選任務而設計，針對高通量分選（Sorting）與設備前端（EFEM）集成兩大主要場景提供完整解決方案。平台以六邊形布局優化空間效率，通過雙機器人、雙對準器的並行架構實現優異吞吐量，支持開放式卡塞與SMIF標準。
產品詳情
六角形分揀機/EFEM 150/200mm自動化平台
高通量開放式卡塞晶圓分選機
雙晶圓搬運機器人
雙對齊器
2-6個帶映射的加載端口
晶圓翻轉
高吞吐量200mm SMIF分揀機
雙晶圓搬運機器人
雙對齊器
2個帶映射的SMIF加載端口
迷你環境
設備前端模塊
1-6個加載端口（開放式卡塞或SMIF）
雙對齊器
晶圓裝載窗口
SECS/GEM和GEM300通信
為SMIF生產線提供不破壞潔淨環境的在線分選能力，適用於混批管理、良品篩選、返工流重組等。
該係列平台通過並行化設計和頂配的模塊化選項，為客戶在分選效率與設備前端自動化兩大關鍵領域提供了行業優異的解決方案，
是構建高效、靈活、智能的150/200mm半導體製造產線的主要裝備。
六角形分揀機/EFEM150/200mm自動化平台
這是一模塊化、高性能的自動化晶圓處理平台，專為執行多條件、高速晶圓分選任務而設計，針對高通量分選（Sorting）與設備前端（EFEM）集成兩大主要場景提供完整解決方案。平台以六邊形布局優化空間效率，通過雙機器人、雙對準器的並行架構實現優異吞吐量，支持開放式卡塞與SMIF標準。
產品詳情
六角形分揀機/EFEM 150/200mm自動化平台
高通量開放式卡塞晶圓分選機
雙晶圓搬運機器人
雙對齊器
2-6個帶映射的加載端口
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高吞吐量200mm SMIF分揀機
雙晶圓搬運機器人
雙對齊器
2個帶映射的SMIF加載端口
迷你環境
設備前端模塊
1-6個加載端口（開放式卡塞或SMIF）
雙對齊器
晶圓裝載窗口
SECS/GEM和GEM300通信
為SMIF生產線提供不破壞潔淨環境的在線分選能力，適用於混批管理、良品篩選、返工流重組等。
該係列平台通過並行化設計和頂配的模塊化選項，為客戶在分選效率與設備前端自動化兩大關鍵領域提供了行業優異的解決方案，
是構建高效、靈活、智能的150/200mm半導體製造產線的主要裝備。
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