SPIN-4000A勻膠機

勻膠機有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機、勻膠台、旋轉塗膠機、旋轉塗膜機
、旋轉塗層機、旋轉塗布機
、旋轉薄膜機、旋轉塗覆儀、旋轉塗膜儀
、勻膜機，總的來說，他們原理都

是一樣的(de)
，既(ji)在(zai)高(gao)速(su)旋(xuan)轉(zhuan)的(de)基(ji)片(pian)上(shang)
，滴(di)注(zhu)各(ge)類(lei)膠(jiao)液(ye)，利(li)用(yong)離(li)心(xin)力(li)使(shi)滴(di)在(zai)基(ji)片(pian)上(shang)的(de)膠(jiao)液(ye)均(jun)勻(yun)地(di)塗(tu)覆(fu)在(zai)基(ji)片(pian)上(shang)，厚(hou)度(du)視(shi)不(bu)同(tong)膠(jiao)液(ye)和(he)基(ji)片(pian)間(jian)的(de)粘(zhan)滯(zhi)係(xi)數(shu)而(er)不(bu)同(tong)，也(ye)和(he)旋(xuan)轉(zhuan)速(su)度(du)及(ji)時(shi)間(jian)有(you)關(guan)。勻膠機適用於半導體、矽片、晶

片、基片、導電玻璃及製版等表麵塗覆工藝, 可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研
、教學之用。勻膠機可以用於製作低於10nm厚度的薄膜,並且在清洗和刻蝕中也被使用。由我司提供的勻膠機,在高校、研

究所及半導體產業享有很高的聲譽,相信能滿足您多種不同應用要求。

產地：韓國MIDAS公司，

型號：SPIN-4000A

廠家鏈接：http://www.midas-china.com.cn/

SPIN-4000A

觸摸屏控製，可編程配方管理，操作簡單，采用排液、排液孔、分液器

•勻膠機

•基板尺寸：6~12英寸

•轉速：300~5000 rpm（空載時）
，誤差小於3%

•菜單程序：20步
，20個配方

•卡盤材料：陽極氧化鋁、縮醛

•碗尺寸：18英寸

•碗材料：不鏽鋼

•自動注射功能：選配

適合應用於新型光刻膠測試
、MEMS器件製造、先進封裝、微流控芯片製作、光子器件研發等領域。對於追求工藝可控性
、數據可追溯性的用戶，是一款非常可靠的工具。

該設備憑借其韓國原廠的製造品質、在高校、研究所及產業界已建立的良好聲譽，定位為一款中高級的通用型科研與工業用勻膠機。其競爭力體現在穩定性
、易用性和出色的性價比上，非常適合需要高重複性實

驗
、多工藝項目並行的先進實驗室、研發中心及小規模生產線。