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Preceptor-SMIF批處理ID讀取器
Preceptor-SMIF批處理ID讀取器(IDWR200SMIF) 不隻是一個“讀碼器”,它是一個集自動化物料處理、潔淨環境控製與高精度身份識別於一體的交鑰匙係統。
SMIF Batch ID Reader將Batch ID Reader、Kuka Robotics和SMIF Load Ports組合在一個迷你環境中。
SMIF Pod會自動打開並放入設備中。Kuka機器人將卡塞從Pod傳輸到Batch ID Reader。
使原本以“Pod”為較小追溯單元的SMIF係統,升級到 “單晶圓級” 的精細化管理,滿足先進製程和混批生產的需求。
IDWR200SMIF允許SMIF晶圓廠引入晶圓跟蹤和/或Pod到Pod傳輸。
係統可作為智能中轉站。讀取晶圓ID後,可根據指令將晶圓盒放入另一個目標Pod中,實現基於晶圓身份的有序重組和分發。
循環時間不到3分鍾,它可以用超快的解決方案取代排序過程步驟。
憑借其高速處理能力,可將傳統的離線分選步驟集成在在線流中,簡化流程,減少晶圓搬運次數和潛在損傷。
GEM300與E84接口,用於外部自動化係統接口
使得該讀取站可以無縫嵌入全廠自動化物料流中。
Model | Wafer Size | Description |
IDWR200SMIF | 200mm | SMIF Batch ID Reader |
Preceptor-SMIF批處理ID讀取器
Preceptor-SMIF批處理ID讀取器(IDWR200SMIF) 不隻是一個“讀碼器”,它是一個集自動化物料處理、潔淨環境控製與高精度身份識別於一體的交鑰匙係統。
SMIF Batch ID Reader將Batch ID Reader、Kuka Robotics和SMIF Load Ports組合在一個迷你環境中。
SMIF Pod會自動打開並放入設備中。Kuka機器人將卡塞從Pod傳輸到Batch ID Reader。
使原本以“Pod”為較小追溯單元的SMIF係統,升級到 “單晶圓級” 的精細化管理,滿足先進製程和混批生產的需求。
IDWR200SMIF允許SMIF晶圓廠引入晶圓跟蹤和/或Pod到Pod傳輸。
係統可作為智能中轉站。讀取晶圓ID後,可根據指令將晶圓盒放入另一個目標Pod中,實現基於晶圓身份的有序重組和分發。
循環時間不到3分鍾,它可以用超快的解決方案取代排序過程步驟。
憑借其高速處理能力,可將傳統的離線分選步驟集成在在線流中,簡化流程,減少晶圓搬運次數和潛在損傷。
GEM300與E84接口,用於外部自動化係統接口
使得該讀取站可以無縫嵌入全廠自動化物料流中。
Model | Wafer Size | Description |
IDWR200SMIF | 200mm | SMIF Batch ID Reader |
