手動/自動批量晶圓轉移

手動/自動批量晶圓轉移

AWT/MWT（自動/手動晶圓傳送）機器在卡塞之間水平傳送晶圓。

安全聯鎖裝置（AWT）

卡塞放置傳感器

晶圓傳輸過程中異常電阻的電機過電流檢測

當聯鎖啟動時
，晶片傳輸將停止

MWT有一個自返回的傳送臂
，因此機器隨時可以使用。

反向卡塞裝載時可以批量翻轉

AWT/MWT 是晶圓廠 “水平物流” 的骨幹設備。

它與之前描述的 VBT（垂直物流） 設備形成了完美的操作維度互補：

VBT：負責 “垂直存取”——從盒中取出或將晶圓放回盒中，常與工藝模塊或檢測站對接。

AWT/MWT：負責 “水平交換”——在不同晶圓盒之間進行整理、分選
、合並或翻。

AWT 適用於追求全自動化、高可靠性的在線生產環節。

MWT 則是靈活性、低成本的理想選擇
，常用於離線作業、實驗線或作為備份。

這三類設備（VBT, AWT/MWT, 檢測模塊）共同構成了一個完整的 “晶圓自動化處理與檢測” 解決方案矩陣
，可以根據客戶的具體工藝流程（來料→ 垂直上料 → 水平分選 → AI檢測 → 垂直下料/翻麵 → 水平輸出）進行

靈活組合與集成。