俄歇電子能譜及低能電子衍分析係統

俄歇電子能譜及低能電子衍射分析係統
，又稱俄歇電子能譜AES及低能電子衍射LEED樣品表麵深度分析係統。基於俄歇電子能譜AES、低能電子衍射LEED
、及氬離子濺射深度分布的分析係統
，完成對薄膜及合金的元素

組成和深度分布的分析。非接觸式測量薄膜及合金元素組成，帶樣品預抽真空室 （load-lock腔室）。

特性：

• 對原子結構
  ，元素組成和厚度分析達到“亞納米級”精度

• 大範圍樣品分析

• 半自動化操作

係統特性：

• 俄歇電子能譜AES分析器

• 分析器型號-延遲型區域分析器
  ，自帶同軸電子

• 能量分辨率：<5%

• 工作距離 10mm

• 檢測器: 1e7至1e8增幅範圍的電子倍增器通道

• 安裝法蘭-4.5英寸O.D.標準CF法蘭（NW63CF)

電子：

• 型號 ：帶可調焦距和束斑直徑的雙靜電透鏡

• 束流電壓：0-3KV

• 束流電流：50uA

• 束流直徑：800um

• 燈絲：鎢燈絲

• 磁罩：帶前置保護殼的Mu罩

深度離子濺射：

• 離子源  在磁場內電子衝擊形成離子

• 離子化陰極  鎢-錸燈絲

• 直接安裝於70mmO.D.CF法蘭

• 束流電流：10 uA

• 束流能量：0-3keV

• 束流尺寸;直徑範圍5至25mm

• 束流均勻度：<5%

• 氣體輸入：經過泄漏閥氣體直接輸入至離子源

• 安裝法蘭：23/4英寸（70mm）O.D.CF法蘭

樣品傳遞操作：

• 樣品尺寸：尺寸從10mm-20mm

• 樣品置入：單個樣品置入

• 樣品傳輸：線型磁動樣品傳輸臂

真空係統：

• 腔體：100mm焊接超高真空腔體（304不鏽鋼）

• 真空泵：60L/sec離子泵和50l/sec的分子泵
  ，配備匹配的前級泵

• 真空規：寬量程真空規

• 真空兼容：超高真空材料

• 烘烤：真空下可烘烤至250度

這套AES-LEED係統是表麵科學與工程領域的“手術刀”。它通過對材料進行元素
、結構、深度的逐層精細分析，為理解材料的表麵行為、優化薄膜工藝

、解決器件失效等問題，提供了在原子層麵上無可替代的實驗證據。