MDA-80SA光刻機

光刻機又名：掩模對準曝光機，曝光係統，光刻係統

，光刻機，紫外曝光機等；

MIDAS為全球半導體設備供應商

，多年來致力於掩模對準光刻機和勻膠機研發與生產，並且廣泛應用於半導體、微電子、生物器件和納米科技領域；該公司是目前世界上較早將光刻機商品化的公司之一，擁有雄厚的技

術研發力量和設備生產能力；並且其設備被眾多大型企業
、研發中心
、研究所和高校所采用；以優異的技術、精湛的工藝和良好的服務

，贏得了用戶的青睞。

產地：韓國MIDAS公司
，能做到圖形化藍寶石襯底（PSS）光刻機
，高性價比

型號：MDA-80SA

廠家鏈接：http://www.midas-china.com.cn/

易於操作的用戶界麵
，PLC操作與PC控製，圖像抓取和數據日誌，100多個程序配方，電動操縱杆控製，電動變焦顯微鏡和樣品台

•操縱杆控製，半自動

•掩模版尺寸高達9英寸

•基板尺寸6~8英寸

•均勻光束尺寸10.25*10.25英寸

•紫外線光源：紫外線燈
，2 kW

•光束波長350~450 nm

•光束均勻性<±5%

•365 nm強度~25 mW/㎠

•定位方法：操縱杆控製，半自動

•對準精度1 um

•操作模式：軟、硬、真空接觸和接近

•工藝分辨率：1 um@1 um PR厚度，真空接觸

MDA-80SA是一款“小而精”的半自動光刻解決方案。如果您的研發或生產主要圍繞6英寸或8英寸基板展開，既需要超越純手動機型的效率和工藝管理能力
，又希望控製投資成本，那麼MDA-80SA是一個非常匹配且高

性價比的選擇。