勻膠機
勻膠機有很多種稱謂
，英文叫Spin Coater或者Spin Processor
，又稱甩膠機
、勻膠台、旋轉塗膠機、旋轉塗膜機、旋轉塗層機、旋轉塗布機、旋轉薄膜機
、旋轉塗覆儀、旋轉塗膜儀
、yunmoji
，zongdelaishuo，tamenyuanlidoushiyiyangde
，jizaigaosuxuanzhuandejipianshang，dizhugeleijiaoye，liyonglixinlishidizaijipianshangdejiaoyejunyunditufuzaijipianshang，houdushibutongjiaoyehejipianjiandezhanzhixishuerbutong，yehexuanzhuansudujishijianyouguan。
勻膠機適用於半導體
、矽片、晶片
、基片、導電玻璃及製版等表麵塗覆工藝, 可在工礦企業、科研

、教育等單位作生產、科研
、教學之用。勻膠機可以用於製作低於10nm厚度的薄膜,並且在清洗和刻蝕中也被使用。
由我司提供的勻膠機,在高校、研究所及半導體產業享有很高的聲譽,相信能滿足您多種不同應用要求。
產地：韓國MIDAS公司，
型號：SPIN-5000A/7000A
廠家鏈接：http://www.midas-china.com.cn/


勻膠機通用參數:
旋轉襯底上限尺寸：4”
、6”、8”、12”
、550mm
；
按客戶需求提供整體解決方案
，可以旋塗下限尺寸3mm， 上限尺寸1000mm襯底；
從手動到全自動溶質分配的選擇範圍寬大
；
無振動轉速較高8000rpm；
真空吸附，無汙染；
台式勻膠機,占用空間小；
具備耐化學性的無縫聚丙烯外罩

，並且勻膠機主機易清洗；
聚四氟乙烯（PTFE）的勻膠機可用於強腐蝕性化學材料
；
便於程序操作的全尺寸鍵盤
，甚至帶著手套都可以方便使用；
可以準確重複運行程序的數字程序控製係統；
高度靈活的多重可編程步驟組成複合程序。


應用範圍：
可用於光刻膠(PR)，聚酰亞胺(Polyimide)，金屬有機物(Metallo-organics)
，攙雜劑(Dopant)，矽薄膜(Silica Film)，以及大多數的有機溶液、水溶液；
全自動的勻膠及顯影工藝必需的全自動Chip生產設備：