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瀏覽器自帶分享功能也很好用哦~一係列緊湊型、單層結構的自動化晶圓垂直轉移設備，專為在晶圓盒以及工藝模塊之間安全、高效地批量轉移晶圓而設計。可選配高精度平邊/凹口對準器，是半導體生產線中實現自動化上下料和晶圓定向的標準解決方案。
垂直批量晶圓傳送和平麵/凹口對齊
VBT係列機器是一種單級自動垂直晶圓轉移工具，具有凹口/平麵對齊選項。
邊緣的晶圓處理
檢測傳感器，用於監測傳輸和對齊過程。
占地麵積小。
VBT係列是半導體自動化中高度模塊化、功能明確的基礎硬件，它為晶圓提供了“垂直電梯+智能方向盤”的功能。
此係列設備是構建 “全自動晶圓檢測線” 或任何自動化工藝模塊的關鍵物流節點，可以與宏觀檢測模塊、AI微檢測係統結合，
形成從入料、定向、傳送到檢測、分揀的完整自動化解決方案。
Model | Wafer Size | Description |
VBT150 VBT150A | 150 mm | Vertical Batch Transfer (VBT) VBT with Flat Aligner |
VBT200 VBT200A | 200 mm | Vertical Batch Transfer (VBT) VBT with Notch Aligner |
VBT200Q | 200 mm | VBT for Quartz Boat |
VBT100C VBT150C VBT200C | 100mm/150mm/200mm | Vertical Batch Transfer Open Cassette/Clamshell |
VBT125/150 VBT125/150Q | 125mm/150mm | Vertical Batch Transfer Vertical Batch Transfer for Quartz Boat |
垂直批量晶圓傳送和平麵/凹口對齊
一係列緊湊型、單層結構的自動化晶圓垂直轉移設備，專為在晶圓盒以及工藝模塊之間安全、高效地批量轉移晶圓而設計。可選配高精度平邊/凹口對準器，是半導體生產線中實現自動化上下料和晶圓定向的標準解決方案。
垂直批量晶圓傳送和平麵/凹口對齊
VBT係列機器是一種單級自動垂直晶圓轉移工具，具有凹口/平麵對齊選項。
邊緣的晶圓處理
檢測傳感器，用於監測傳輸和對齊過程。
占地麵積小。
VBT係列是半導體自動化中高度模塊化、功能明確的基礎硬件，它為晶圓提供了“垂直電梯+智能方向盤”的功能。
此係列設備是構建 “全自動晶圓檢測線” 或任何自動化工藝模塊的關鍵物流節點，可以與宏觀檢測模塊、AI微檢測係統結合，
形成從入料、定向、傳送到檢測、分揀的完整自動化解決方案。
Model | Wafer Size | Description |
VBT150 VBT150A | 150 mm | Vertical Batch Transfer (VBT) VBT with Flat Aligner |
VBT200 VBT200A | 200 mm | Vertical Batch Transfer (VBT) VBT with Notch Aligner |
VBT200Q | 200 mm | VBT for Quartz Boat |
VBT100C VBT150C VBT200C | 100mm/150mm/200mm | Vertical Batch Transfer Open Cassette/Clamshell |
VBT125/150 VBT125/150Q | 125mm/150mm | Vertical Batch Transfer Vertical Batch Transfer for Quartz Boat |
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