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自動AI宏觀晶圓檢測
將檢查攝像頭整合到SPPE和SPPE-SORT設備中,以自動檢查晶片的任何方麵。
Cognex InSight ViDi AI/深度學習檢測
完全通用的晶圓檢測
低成本、占地麵積小的宏觀檢測解決方案——設計用於輕鬆插入晶圓廠工藝步驟,以允許使用前列技術進行在線晶圓檢測
按插槽編號顯示通過/失敗結果
設計用於檢測大於0.5mm的宏觀缺陷(劃痕、不需要的工藝標記、不想要的宏觀特征、CMP誤差)
Model | Wafer Size | Description |
SPPE* SPPE*SORT | 150/ 200 mm | Wafer Inspection Cameras for SPPE* &SPPE*SORT series |
自動AI宏觀晶圓檢測
將檢查攝像頭整合到SPPE和SPPE-SORT設備中,以自動檢查晶片的任何方麵。
Cognex InSight ViDi AI/深度學習檢測
完全通用的晶圓檢測
低成本、占地麵積小的宏觀檢測解決方案——設計用於輕鬆插入晶圓廠工藝步驟,以允許使用前列技術進行在線晶圓檢測
按插槽編號顯示通過/失敗結果
設計用於檢測大於0.5mm的宏觀缺陷(劃痕、不需要的工藝標記、不想要的宏觀特征、CMP誤差)
Model | Wafer Size | Description |
SPPE* SPPE*SORT | 150/ 200 mm | Wafer Inspection Cameras for SPPE* &SPPE*SORT series |
