金屬有機化合物化學氣相沉積（MOCVD)

我們提供了一套完整的MOCVD
，主要產品包括台式研發型、中zhong試shi型xing和he生sheng產chan型xing。其qi反fan應ying器qi的de設she計ji可ke以yi根gen據ju工gong藝yi的de需xu要yao很hen容rong易yi提ti升sheng到dao滿man足zu大da直zhi徑jing晶jing片pian生sheng產chan的de需xu要yao。我wo們men也ye能neng為wei客ke戶hu設she計ji以yi滿man足zu客ke戶hu特te殊shu工gong藝yi和he應ying用yong的de需xu要yao。係xi統tong部bu件jian包bao括kuo：反應器、氣體傳輸係統、電氣控製係統和尾氣處理係統.

應用方向：氧化物、氮化物、碳化物、硫族（元素）化物、半導體等。

提供適用不同材料研究需要的反應器：

透明導體氧化物（TCO）應用於LCD
、太陽能電池、透明加熱器、電極、LED、OLED等方麵包括：P型ZnO, ITO, SrCuO,MgAlO,SrRuOm等MOCVD係統

；

MEMS & MOEMs包括：PZT, ZrO, NbO,LiNbO, TiO2
，SiO2
，PbMgO, CMO
，Ta2O5等MOCVD係統；

儲存器 (DRAM & NVRAM)介電/鈍化材料應用於柵極、介電層、鐵電、高頻設備、鈍化、保護層等，包括：BST

，PZT, SBT, CMO, BLT，Hf(Si)O, Ta2O5,，Zr(Si)O,Al2O3, MgO等MOCVD係統；

波導, 光電, WDMs. MOEMS 等材料
，包括：YBCO, PZT, ZnO, ZnSiO:Mn, GaN，SiC, Al, W, Cn等MOCVD係統
；

其他材料如：超導、氮化物、氧化物、磁性材料、包括：YBCO, PZT, ZnO, ZnSiO:Mn, GaN
，SiC, Al, W, Cn等MOCVD係統
；

金屬及合金, 氧化物, 氮化物, III-V, II-VI,...
；

半導體: SiO2, HfO2, Ta2O5, Cu, TiN, TaN, ...
；

氮化物及合金: GaN, AlN, GaAs, GaAsN...；

高介電材料:SrTiO3, BaTiO3, Ba(1-x)SrxTiO3 (BST)...；

鐵電材料: SBT, SBTN, PLZT, PZT,…；

超導材料:YBCO, Bi-2223, Bi-2212, Tl-1223, …
；

壓電材料: (Pb, Sr)(Zr,Ti)O3, 改性鈦酸鉛...；

金屬:Pt, Cu,...；

巨磁阻材料...；

熱塗層, 阻擋層, 機械塗層, 光學材料...。

我們提供了從桌麵型反應器（針對研究和提高的需要）到(dao)自(zi)動(dong)化(hua)生(sheng)產(chan)係(xi)統(tong)。出(chu)於(yu)材(cai)料(liao)變(bian)化(hua)種(zhong)類(lei)的(de)適(shi)應(ying)性(xing)和(he)經(jing)濟(ji)價(jia)格(ge)的(de)考(kao)慮(lv)，對(dui)任(ren)何(he)研(yan)究(jiu)人(ren)員(yuan)來(lai)說(shuo)桌(zhuo)麵(mian)型(xing)反(fan)應(ying)器(qi)是(shi)更(geng)合(he)適(shi)的(de)選(xuan)擇(ze)

，而(er)且(qie)也(ye)極(ji)容(rong)易(yi)升(sheng)級(ji)為(wei)量(liang)產(chan)型(xing)。

科研型MOCVD設備
，包含液體直接注入ALD工藝，同一腔室完成沉積和退火。

-更低的設備及使用成本、更少的前驅體源使用、更小的腔體尺寸
、跟高的薄膜沉積品質！

-非常適合高校及研究所科研使用！

儀器參數：

1/ 1~4英寸MOCVD係統；

2/ 專為滿足科研單位需求而設計；

3/ MOCVD係統可在不同基底上，以MOCVD方式
，在固體
、液體有機金屬基源上沉積氧化物
、氮化物
、金屬、III-V 和 II-VI膜層
；

4/ MOCVD配有前驅體直接處理單元
，可在大範圍內使用MO源，用於外延材料的研發和製備；

5/ MOCVD腔室中的紅外燈加熱係統可實現在線退火工藝；

性能及特點：

1， 溫度範圍: 室溫至1200°C 
；

2， 帶質量流量控製器的氣體混合性能；

3
， 真空範圍: ~ 10-3 Torr，可選配高真空；

4， 選配手套箱；

5， 已被客戶普遍接受

6， 堅固耐用

7
， 可靠性高

8
， 良好的可重複性

9
， 經濟適用