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脈衝激光分子束外延係統(PLD MBE)
憑借著優異的性能, PVD公司生產的脈衝激光沉積分子束外延係統在國內外擁有較多用戶,為眾多老師開啟薄膜外延製備的新篇章。歡迎前來參觀谘詢。
PVD公司是美國主要製造商,是一家專業從事脈衝激光沉積分子束外延(PLD MBE)和超高真空薄膜沉積係統及組件的設計和製造的公司,提供超高真空薄膜沉積係統,應用於分子束外延、UHV濺射和脈衝激光沉積。產品主要集中在小型研究開發係統,其應用主要包括:
用分子束外延進行半導體材料、ZnO、GaN、SiGe和金屬/氧化物外延生長;
UHV磁控濺射磁性薄膜;
脈衝激光沉積超導薄膜、氧化物和陶瓷材料。
儀器主要配置:
主腔室,樣品傳輸腔,1100度加熱係統,樣品旋轉,PLD靶材操控器及光路,K-cell熱蒸發源,電子束蒸發源,射頻RF離子源。
應用主要包括:
分子束外延係統(MBE);
GaAs、InP和GaSb外延;
HgCdTe外延;
GaN、InN和AlN外延;
Ⅱ-Ⅵ族外延;
SiGe外延;
Si/金屬/氧化物外延;
超高真空物理氣相沉積(PVD)係統;
磁控濺射係統;
脈衝激光沉積(PLD)係統;
電子束蒸發係統;
離子束沉積係統;
熱蒸發係統。
PVD公司已經在全球範圍內安裝了超過100套(tao)的(de)超(chao)高(gao)真(zhen)空(kong)係(xi)統(tong)。絕(jue)大(da)部(bu)分(fen)的(de)產(chan)品(pin)都(dou)是(shi)針(zhen)對(dui)用(yong)戶(hu)定(ding)製(zhi)設(she)計(ji)複(fu)雜(za)的(de)沉(chen)積(ji)係(xi)統(tong)。在(zai)標(biao)準(zhun)係(xi)統(tong)製(zhi)造(zao)業(ye)中(zhong)有(you)著(zhe)深(shen)厚(hou)的(de)為(wei)用(yong)戶(hu)定(ding)製(zhi)設(she)計(ji)的(de)背(bei)景(jing),在(zai)用(yong)戶(hu)中(zhong)具(ju)有(you)很(hen)好(hao)的(de)聲(sheng)譽(yu)。許(xu)多(duo)的(de)標(biao)準(zhun)係(xi)統(tong)更(geng)初(chu)都(dou)是(shi)起(qi)源(yuan)於(yu)針(zhen)對(dui)某(mou)些(xie)客(ke)戶(hu)對(dui)沉(chen)積(ji)過(guo)程(cheng)特(te)殊(shu)需(xu)求(qiu)的(de)解(jie)決(jue)方(fang)案(an),與廣大的中國用戶開展更為普遍的交流與合作,為廣大的中國用戶提供國際前沿PLD MBE和超高真空薄膜沉積係統製造商的產品和服務。
